Description :
Spécificités :
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mesure de distance par réflectomètrie
L'équipement est composé de :
-un châssis en profilé NORCAN
-un support de substrat (jusqu'à 1000 x 600 mm) permettant une planéité conforme grâce à une table aspirante
-un système d'axes de marque NSK (trois axes)
-un système de mesure de distance de marque Keyence
-un PC de commande
Utilisation jusqu'alors : mesures d'épaisseur de microstructures sans contact sur substrats verre de grandes dimensions
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